自对准 CFET 技术如何将 CMOS 缩放扩展至 10 埃以下
Lam Research 用 SEMulator3D 数字孪生建模验证了一种自对准互补场效应晶体管(SA-CFET)架构,可在 10 埃节点后延续 CMOS 缩放。
Lam Research 用 SEMulator3D 数字孪生建模验证了一种自对准互补场效应晶体管(SA-CFET)架构,可在 10 埃节点后延续 CMOS 缩放。
Lam Research 在加州 Livermore 启用其最大美国仓库,一座 470,000 平方英尺的物流与供应链枢纽,以支持 AI 技术需求带来的半导体供应链压力。馆内 40,000 平方英尺的自动化存取系统配备 15 台机器人,可将零件检索时间从 6 分钟缩短至 30 秒以内,比现有系统快 12 倍。该中心预计到 2027 年支持超过 200 个工作岗位。
AI 对更大、更复杂芯片封装的需求正推动行业探索面板级封装(PLP):用矩形面板取代圆形晶圆,以提升面积利用率和可扩展性,突破传统晶圆级封装的尺寸限制。Lam Research 正通过工具创新和基础设施投入(包括 Salzburg Panel Center of Excellence)推进该技术的研发与量产就绪。该技术仍面临均匀性控制、良率管理及行业标准等挑战。
Lam Research 在俄勒冈州 Tualatin 研发中心动工扩建新实验室,建成后洁净室空间扩大超 50%,面积 120,000 平方英尺,预计 2028 年启用。
Lam Research 使用 SEMulator3D® 集成应力建模,在制造前预测 GAA 堆叠纳米片沟道间的应力不均匀——nFET 应力差达 400-800 MPa,pFET 则低于 200 MPa。DOE 实验表明沟道厚度、fin 宽度和横向刻蚀共同影响应力均匀性,其中将最顶层沟道厚度从 4 nm 增至 7 nm 可显著降低应力差。