Intel Foundry 与 ASML 合作推进 High NA EUV 量产就绪，累计加工晶圆超百万片

Intel Foundry 与 ASML 在 SPIE 光掩模与 EUV 光刻会议上公布 High NA EUV 量产进展，该技术已用于 Intel 18A 工艺上部分 Core Ultra Series 3（Panther Lake）处理器的量产。