Lam Research 半导体制造技术·· 8 天前AI 评分41
自对准 CFET 技术如何将 CMOS 缩放扩展至 10 埃以下
How Self-Aligned CFET Technology Could Extend CMOS Scaling Beyond 10 Angstroms
AI 导读
Lam Research 用 SEMulator3D 数字孪生建模验证了一种自对准互补场效应晶体管（SA-CFET）架构，可在 10 埃节点后延续 CMOS 缩放。
来源：Lam Research 半导体制造技术 · newsroom.lamresearch.com