为什么人人都在谈混合键合,谁在这场竞赛中——TrendForce 解析 3D 封装格局
Why Everyone Is Talking About Hybrid Bonding, and Who Is in the Race
TrendForce 深入解析 3D 先进封装与混合键合:TSMC SoIC 采用 3D 互连,互连密度较 CoWoS 提升 56x、能效提升 5x,2025 年以 6µm 键合间距量产,并计划 2029 年缩至 4.5µm;Intel Foveros Direct 以 9µm 间距于 1H26 随 Clearwater Forest Xeon 6+ 量产。
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从8月的 OCP APAC 和 Hot Chips,到9月的 SEMICON Taiwan,先进封装在整个半导体行业持续升温。为什么先进封装如此重要?晶体管微缩正逼近物理极限,因此为了在单个封装内实现效率最大化,行业正迅速转向芯片堆叠与异构集成。
在上一篇文章中,我们整体分析了先进封装市场,并从规格参数和主要客户两个维度,比较了两大领先的 2.5D 平台——台积电的 CoWoS 与英特尔的 EMIB。本文将转向 3D 封装,尤其是混合键合技术。
先进封装的类型:2.5D、3D 与 3.5D
快速回顾:2.5D 封装采用布线密度极高的中介层(interposer),实现裸片之间更快的信号传输和更低的功耗。典型例子包括台积电的 CoWoS 和英特尔的 EMIB(后者在基板中嵌入小型硅桥,而非使用完整中介层)。
3D 封装将裸片垂直堆叠,缩短裸片之间的通信距离,例如台积电的 SoIC 和英特尔的 Foveros Direct 3D。两者均可实现融合 2.5D 与 3D 封装于单一架构的一体化“3.5D”方案:多颗芯片垂直堆叠为一个复合 IC,再通过 2.5D 封装与 HBM 或其他外围 IC 集成。
据台积电介绍,采用 3D 互连的 SoIC 相比采用 2.5D 互连的 CoWoS,互连密度提升 56 倍,能效提升 5 倍。台积电已于 2025 年开始量产键合间距为 6µm 的 SoIC,并计划到 2029 年将 SoIC 进一步微缩至 4.5µm 间距。
在英特尔方面,Foveros Direct 已于 2026 年上半年随 Clearwater Forest Xeon 6+ 实现量产,键合间距为 9µm。路线图上还规划了目标 3µm 的第二代技术。
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3D IC 不仅支持逻辑芯片对逻辑芯片的堆叠,还为内存对逻辑芯片或逻辑芯片对内存的堆叠开辟了可能。例如,3D DRAM 架构将 DRAM 直接置于逻辑裸片之上。
在 3D IC 的基础上,行业也在努力实现光学元件的小型化,将其集成到硅芯片中,并与 EIC 共同封装形成光引擎,这项技术被称为 CPO。这一范式进一步提升了 3D 封装的复杂度。一个例子是台积电的 COUPE,它利用混合键合来集成 EIC 与 PIC。COUPE 已应用于 NVIDIA 的 Spectrum-X Photonics 和 Tomahawk 6-Davisson。
ASE 推出了其 SiPh 光引擎,采用微凸点技术将 EIC 与 PIC 垂直键合。英特尔发布了将激光器集成到 PIC 中的 OCI(Optical Compute Interconnect)芯片,而 GlobalFoundries 则推出了结合 FAU 与光纤阵列的 SCALE(Silicon Photonics Co-packaged Advanced Light Engine)平台。
付费内容中,我们将探讨:
微凸点 + TCB 与混合键合的对比,以及各自的应用场景
各大混合键合设备供应商的对准精度,以及谁正在缩小差距
键合之外的三大挑战,以及业界的应对之道
两个值得追踪的指标:台积电的 SoIC 产能规划与 Besi 的订单情况
来源:TrendForce Insights 半导体产业洞察 · insights.trendforce.com